• Главная
• Контакты
• Реклама
• Все записи

Вакуумные насосы для плазменного нанесения покрытий

Плазменное нанесение покрытий (PVD) - это процесс, при котором поверхностный слой наносится на объект с помощью плазменного разряда. Вакуумные насосы играют важную роль в этом процессе, создавая низкое давление среды внутри вакуумной камеры, где происходит плазменное разряд. Основными типами вакуумных насосов, используемых в PVD, являются:

• Механические насосы: создают вакуум путем механического перемещения, такого как вращение лопастей или поршней. Они обеспечивают относительно высокую откачку при низком давлении, но могут быть шумными и требовать частого обслуживания.
• Турбомолекулярные насосы: используют быстро вращающиеся роторы для ускорения молекул газа и удаления их из вакуумной камеры. Они обеспечивают более высокую откачку и создают более чистое вакуумное пространство, чем механические насосы.
• Криогенные насосы: улавливают и замораживают газы на поверхностях, охлажденных жидким азотом или гелием. Они обеспечивают очень низкое давление, но могут быть дорогими в эксплуатации. Выбор типа вакуумного насоса для PVD-системы зависит от следующих факторов:
• Требуемое рабочее давление
• Скорость откачки (объемный расход)
• Стоимость
• Уровень шума и вибрации
• Периодичность обслуживания В PVD вакуумные насосы часто используются в комбинации для достижения оптимального вакуума и чистоты для нанесения покрытий. Например, механический насос может быть использован в качестве предварительного насоса для создания предварительного вакуума, а затем турбомолекулярный насос может быть использован для достижения более высокого вакуума. Эта конфигурация обеспечивает высокую скорость откачки, низкое давление и минимальное загрязнение.